高純氣體氖的分析標準和儀器

隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，市場對高純度氣體氖的純度要求越來越高，達到99.99％。目前，中國的霓虹燈標準只有GB / TT 1787-1999“純霓虹燈”。氖氣的最高純度為99.995％。高純度氖氣沒有國際標準，只有一些大型外國公司，例如美國API和德國Messer都有自己的技術(shù)指標。在工業(yè)上，液態(tài)氖氣冷凝用于生產(chǎn)高純度氖氣，但是氖氣和氦氣的沸點分別非常接近-245.9和-268.9°C。氖氣的沸點低于氮氣，因此產(chǎn)生的氖氣將包含少量氦氣。由于相似的物理和化學性質(zhì)，已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)中測試了工業(yè)中高純度氣體氖中痕量氦的分析。難點。針對這些問題，需要探索一種新的檢測方法來測定氖中的痕量氦[2-7]。在這項研究中，使用氖氣作為氣體，并使用一系列標準氣體作為樣品來繪制回歸曲線。直線截距值是載氣中的氦氣量。高純氣體氖氣實驗儀器和樣品標準材料實驗使用GC-12氣相色譜儀，上海儀器分析總廠，導熱系數(shù)檢測器（TCD），色譜儀工作站，N2000，浙江大學智能信息工程學院。色譜柱使用直徑為3mm，長度為3m的5A分子篩和六通進樣閥。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀，N3000色譜工作站。氣體分離的原理是：由于性質(zhì)不同，氣態(tài)物質(zhì)分子在色譜柱分子篩上的吸附-解吸能力也不同。在色譜柱上連續(xù)操作后，氣相分子在色譜柱中的移動距離逐漸變化。最終彼此分離，TCD檢測器檢測到了不同氣體的保留時間和峰面積。