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    離子注入氣體（離子注入氣體）
    

    
    * 來源:    * 作者:    * 發(fā)表時間: 2020/01/17 1:10:24   * 瀏覽: 14
    

    
離子注入氣體（GasesforIonImplantation）：離子注入將P +，B +，As +等離子化雜質(zhì)加速到高能態(tài)，然后將其注入到預(yù)定的襯底上。離子注入是控制Vth（閾值電壓）的最廣泛使用的方法。可以通過測量離子電流來獲得注入的雜質(zhì)的量。離子注入過程中使用的氣體稱為離子注入氣體，并且存在磷基，硼基和砷基氣體。


    


    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    


    

    

     
						    
    














 


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