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高純氣體氖的分析標準和分析儀器

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020-07-09 0:45:05 * 瀏覽: 35
隨著現代微電子工業的不斷發展,市場對高純度氣體氖的純度要求也越來越高,達到99.99%。目前,國內霓虹燈標準僅為GB / T 17873-1999“純霓虹燈”,霓虹燈的最高純度為99.995%。世界上沒有高純度氖氣的統一標準,但是一些大型外國公司,例如美國API和德國Messer,都有自己的技術指標。工業上通過液體氖冷凝法分離出高純度氖氣,但由于氖氣和氦氣的沸點非常接近,它們分別為-245.9和-268.9℃。氖氣的沸點低于氮氣,因此產生的氖氣將包含痕量的氦。由于兩者的物理和化學性質相似,因此在工業生產中一直檢測到工業中高純度氣體氖氣中痕量氦的分析。難。針對這些問題,需要探索一種新的檢測方法來確定氖中痕量的氦[2-7]。在這項研究中,使用氖氣作為氣體,并使用一系列標準氣體作為回歸曲線的樣本。直線的截距值是載氣中的氦氣量。高純氣體氖氣實驗儀和樣品標準物質實驗選擇了GC-122氣相色譜儀,上海儀器分析總廠,導熱系數檢測器,色譜工作站,N2000,浙江大學智能信息工程研究所。色譜柱使用直徑為3mm,長度為3m的5A分子篩和六通采樣閥。日本島津的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀,N3000色譜工作站。氣體分離的原理是:由于性質不同,氣態物質分子在色譜柱分子篩上的吸附和解吸能力也不同。通過在色譜柱上的連續操作,柱中氣態分子的移動距離緩慢變化。最終彼此分離,通過TCD檢測器檢測了不同氣體的保留時間和峰面積。
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