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    離子注入氣體（離子注入氣體）
    

    
    * 來(lái)源:    * 作者:    * 發(fā)表時(shí)間: 2020/07/21 0:28:11   * 瀏覽: 12
    

    
離子注入氣體（GasesforIonImplantation）：離子注入是將P +，B +，As +等離子化雜質(zhì)加速到高能態(tài)，然后將其注入到預(yù)定的襯底上。離子注入技術(shù)是控制Vth（閾值電壓）使用最廣泛的技術(shù)。注入的雜質(zhì)量可以通過(guò)測(cè)量離子電流來(lái)獲得。離子注入過(guò)程中使用的氣體稱為離子注入氣體，包括磷基，硼基和砷基氣體。


    


    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    


    

    

     
						    
    














 


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