高純氫中微量烴污染的分析與測定方法

高純氫氣廣泛用于電子行業，石化行業，金屬冶煉，國防和科研部門。它也可用作制備標準氣體的原料氣和色譜法的載氣。隨著科學技術，科學實驗和工業產品的快速發展，特別是一些超大型集成電路，光電產品等高科技產品，需要嚴格控制氫氣的純度和雜質含量。并要求將O2，H2O，HTC（總烴），CO，CO2等雜質凈化至10-9-10-12，用于有色金屬，硅鋼，帶鋼，精密合金和浮法玻璃等都需要使用純度約為99.999％的氫氣，在天然氣工業中，純氫氣用于氣體分析和氣體精制。目前，工業化生產的大部分工業氫氣都應進行化學處理以滿足各種行業的需求。氫的純化方法主要包括化學吸收法，催化反應法，選擇性吸附法和膜分離法。測定總烴的方法和原理在氣相色譜分析和檢測過程中，氣相色譜儀對所用氣體的純度有更高的要求。為了滿足工作要求并延長儀器的使用壽命，所用氣體的純度必須等于或略高于儀器對氣體純度的要求，否則，請使用不符合要求的低純度氣體要求將導致一系列不利影響。另外，在硅外延工程時代，氫與加熱的硅基板的表面上的四氯化硅或三氯硅醇反應，硅被還原并沉積在硅基板上以形成外延層。上述方法對氫的純度有很高的要求。如果其包含過高的烴，則會形成碳化硅，從而在外延層中引起星形缺陷。因此，應該將高純度氫中所含的總烴作為監測目標。中國國家標準推薦的測定氣體中總烴的方法是叉車火焰電離法。目前，大多數實驗室都使用這種方法。該方法的工作原理：樣品進入電離室后，在氫火焰的高溫下被電離產生陽離子。由于離子的數量與被測組分的含量成正比，因此可以通過工作站（或記錄儀）確定并記錄其含量。相應組分的色譜峰。火焰電離檢測器上總碳氫化合物的響應信號是多種碳氫化合物信號的總和。到目前為止，除了食品級二氧化碳的國家標準外，總碳氫化合物也算作甲烷，其他氣體中的總碳氫化合物也沒有統一的基準。此處，甲烷也用作參考物質，分析結果以甲烷測量。氫氣是易燃的壓縮氣體。存放在陰涼通風的倉庫中。倉庫中的溫度不應超過30°C。遠離火源和熱源。避免陽光直射。應與氧氣，壓縮空氣，鹵素（氟，氯，溴），氧化劑等分開存放。切勿混儲和運輸。儲藏室的照明，通風和其他設施應防爆。交換機位于倉庫外部，并配備有相應數量和數量的消防設備。禁止使用易燃火花的機械設備工具。檢查時請注意產品名稱，注意檢查日期，并先使用高級倉庫。運輸過程中要輕裝輕卸，以免損壞氣缸和附件。