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特種氣體在LED中的應用

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2019-11-22 2:43:38 * 瀏覽: 46
特種氣體屬于光電子學,微電子學等領域,特別是以大規模集成電路,液晶顯示裝置,非晶硅薄膜太陽能電池,半導體發光裝置和半導體材料制造工藝的形式。它的純度和清潔度直接影響光電子,微電子元件的質量,集成度,特定的技術規格和成品率,并從根本上限制電路和器件的精度。半導體照明正在興起。隨著化合物半導體市場的擴大,對特種氣體的需求呈現出更大的增長趨勢。外延生長需要大量的超純源和工藝氣體。目前,臺灣和日本的化合物半導體市場具有很高的市場份額。近年來,中國和韓國的發展勢頭強勁,北美和歐洲的份額也有所增加。半導體技術中使用的特殊氣體對生產,填充,運輸和存儲有嚴格的技術要求。因此,目前國內市場較大,供應量較小。 LED行業中使用的特種氣體半導體行業中的氣體種類繁多,對質量的要求高,且用量低,且大多數為有毒或腐蝕性氣體。有一百多個品種。半導體行業中特種氣體的分類,包括:1.硅氣體:硅基硅烷,例如硅烷,二氯二氫硅烷,乙硅烷等。2.摻雜氣體:硼,磷,砷等。以及五組原子氣體諸如三氯化硼,三氟化硼,膦,ine等。 3.蝕刻清潔氣體:主要包含鹵化物和鹵化碳化合物,例如氯氣,三氟化氮,溴化氫,四氟化碳,六氟乙烷等。 4.反應氣體:主要是基于碳的和基于氮的氧化物,例如二氧化碳,氨和一氧化二氮。 5.金屬氣相沉積氣體:包含鹵化金屬和有機烷烴金屬,例如六氟化鎢或三甲基鎵。在LED產業鏈中,外延技術,設備和材料是外延晶圓制造技術的關鍵。當前的MOCVD工藝已成為制造大多數光電材料的基本技術。外延技術所需的超純特種氣體包括高純砷,高純膦,高純氨,砷化鎵生產中的硅烷N型摻雜,氯化氫和氯氣通常用作蝕刻氣體,氬氣,氫氣和氮。它是必要的載氣。同時,外延生長所需的有機源主要是三甲基鎵,三甲基銦,三甲基鋁,二乙基鋅,二甲基鋅,二茂鐵等。現有技術的發展對這些產品的質量要求越來越高。在半導體化合物的生產過程中,除了純特種外,還需要一些混合氣體,主要包括SiH4 / H2.SiH4 / N2作為成膜源。盡管劑量不大,但是產品質量極高,并且制備了混合氣體。露點低于-95°C,是確保外延晶圓生長良率的唯一方法。化合物半導體產業的發展帶動了原材料市場的快速增長,包括晶片,基板,蝕刻劑,工藝氣體,有機金屬化合物,測試和包裝材料,其每年增長約21%,而工藝氣體(砷,磷化氫,氨,氬,氫,氮,氯化氫,氯等占原料總消耗的8%。
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