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    電子氣
    

    

    

    

    電子氣：
        按組分的性質分類，大致分為三類，即單質類氣體（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物類氣體（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氫、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物類氣體（SiH4+稀釋氣（Ar、N2）、PH3+稀釋氣（Ar、N2）、NH3+稀釋氣（Ar、N2）等）。
    



    

    

     
            上一條: 標準氣


    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    


    

    

     
						    
    














 


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