高純氫中微量烴污染的分析與測定方法

高純氫氣廣泛用于電子行業(yè)，石化行業(yè)，金屬冶煉，國防和科研部門。它也可用作制備標(biāo)準(zhǔn)氣體的原料氣和色譜法的載氣。隨著科學(xué)技術(shù)，科學(xué)實(shí)驗(yàn)和工業(yè)產(chǎn)品的快速發(fā)展，特別是一些超大型集成電路，光電產(chǎn)品等高科技產(chǎn)品，需要嚴(yán)格控制氫氣的純度和雜質(zhì)含量。并要求將O2，H2O，HTC（總烴），CO，CO2等雜質(zhì)凈化至10-9-10-12，用于有色金屬，硅鋼，帶鋼，精密合金和浮法玻璃等都需要使用純度約為99.999％的氫氣，在天然氣工業(yè)中，純氫氣用于氣體分析和氣體精制。目前，工業(yè)化生產(chǎn)的大部分工業(yè)氫氣都應(yīng)進(jìn)行化學(xué)處理以滿足各種行業(yè)的需求。氫的純化方法主要包括化學(xué)吸收法，催化反應(yīng)法，選擇性吸附法和膜分離法。測定總烴的方法和原理在氣相色譜分析和檢測過程中，氣相色譜儀對所用氣體的純度有更高的要求。為了滿足工作要求并延長儀器的使用壽命，所用氣體的純度必須等于或略高于儀器對氣體純度的要求，否則，請使用不符合要求的低純度氣體要求將導(dǎo)致一系列不利影響。另外，在硅外延工程時(shí)代，氫與加熱的硅基板的表面上的四氯化硅或三氯硅醇反應(yīng)，硅被還原并沉積在硅基板上以形成外延層。上述方法對氫的純度有很高的要求。如果其包含過高的烴，則會(huì)形成碳化硅，從而在外延層中引起星形缺陷。因此，應(yīng)該將高純度氫中所含的總烴作為監(jiān)測目標(biāo)。中國國家標(biāo)準(zhǔn)推薦的測定氣體中總烴的方法是叉車火焰電離法。目前，大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室都使用這種方法。該方法的工作原理：樣品進(jìn)入電離室后，在氫火焰的高溫下被電離產(chǎn)生陽離子。由于離子的數(shù)量與被測組分的含量成正比，因此可以通過工作站（或記錄儀）確定并記錄其含量。相應(yīng)組分的色譜峰。火焰電離檢測器上總碳?xì)浠衔锏捻憫?yīng)信號(hào)是多種碳?xì)浠衔镄盘?hào)的總和。到目前為止，除了食品級(jí)二氧化碳的國家標(biāo)準(zhǔn)外，總碳?xì)浠衔镆菜阕骷淄椋渌麣怏w中的總碳?xì)浠衔镆矝]有統(tǒng)一的基準(zhǔn)。此處，甲烷也用作參考物質(zhì)，分析結(jié)果以甲烷測量。氫氣是易燃的壓縮氣體。存放在陰涼通風(fēng)的倉庫中。倉庫中的溫度不應(yīng)超過30°C。遠(yuǎn)離火源和熱源。避免陽光直射。應(yīng)與氧氣，壓縮空氣，鹵素（氟，氯，溴），氧化劑等分開存放。切勿混儲(chǔ)和運(yùn)輸。儲(chǔ)藏室的照明，通風(fēng)和其他設(shè)施應(yīng)防爆。交換機(jī)位于倉庫外部，并配備有相應(yīng)數(shù)量和數(shù)量的消防設(shè)備。禁止使用易燃火花的機(jī)械設(shè)備工具。檢查時(shí)請注意產(chǎn)品名稱，注意檢查日期，并先使用高級(jí)倉庫。運(yùn)輸過程中要輕裝輕卸，以免損壞氣缸和附件。