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    高純氮的用途有哪些
    

    
    * 來源: www.ptyy11.com   * 作者: admin   * 發(fā)表時(shí)間: 2019/08/06 17:30:29   * 瀏覽: 249
    

    

    在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
    


    


    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    


    

    

     
						    
    














 


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