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    服務(wù)熱線(xiàn)：15980987101

    


    


    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    

    

    



    

    

    

    

    

    


    

    

    

    

    

    

    

    

    產(chǎn)品中心
    

    當(dāng)前位置：產(chǎn)品中心
    

    

    

    

    

    電子氣
    

    

    

    

    電子氣：
        按組分的性質(zhì)分類(lèi)，大致分為三類(lèi)，即單質(zhì)類(lèi)氣體（O2、N2、Ar、H2、He）、化合物類(lèi)氣體（SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氫、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等）、混合物類(lèi)氣體（SiH4+稀釋氣（Ar、N2）、PH3+稀釋氣（Ar、N2）、NH3+稀釋氣（Ar、N2）等）。
    



    

    


    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    

    


    

    

    

    


    

    

     
						    
    














 


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